圖1：ASMI 中國(guó)業(yè)務(wù)開(kāi)發(fā)總監(jiān)徐來(lái)
事實(shí)上，在全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中有兩家名稱(chēng)中含有 ASM 的著名設(shè)備供應(yīng)商，分別是 ASMI 和 ASM PT，目前均為上市公司。這兩家公司由同一創(chuàng)始人成立，ASMI 和 ASMPT 目前是獨(dú)立運(yùn)營(yíng)的，ASMI 主攻前段工序，ASMPT 主攻后段工序。兩者唯一的關(guān)系在于 ASMI 是 ASMPT 最大的持股者，前者持有后者 25% 的股份。
ASMI 于 1968 年在荷蘭成立，是全球前十大設(shè)備供應(yīng)商之一。目前，ASMI 在全球 7 個(gè)國(guó)家設(shè)有研發(fā)中心和生產(chǎn)基地，擁有 1900 名員工。而 ASMI 中國(guó)總部位于上海，并在全國(guó)各地設(shè)有服務(wù)和支持的地點(diǎn)，還有面向先進(jìn)技術(shù)研發(fā)的本地工藝工程支持。同時(shí)，公司也在本地存儲(chǔ)零部件以保證能快速服務(wù)客戶(hù)的需求。
擁有自己的工藝集成中心
據(jù)徐來(lái)介紹，ASMI 最大的優(yōu)勢(shì)就是 ALD 工藝，同時(shí) ASMI 也是全球市占率最高的 ALD 工藝設(shè)備供應(yīng)商。據(jù)公開(kāi)資料顯示，ALD 設(shè)備是先進(jìn)集成電路制造工藝中必不可缺少的薄膜沉積設(shè)備，ALD 工藝具有工藝溫度低、薄膜厚度控制精確及臺(tái)階覆蓋率高等優(yōu)點(diǎn)。
目前，ASMI 和許多中國(guó)芯片制造商合作，并已安裝了諸多設(shè)備，從低于 200mm 到 300mm 制造。面向的應(yīng)用有邏輯/代工廠、存儲(chǔ)和模擬制造還有晶圓市場(chǎng)。在中國(guó)已用于生產(chǎn)的平臺(tái)有原子層沉積（ALD）、增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣象沉積（PECVD）、立式爐（Vertical Furnace）、外延設(shè)備（Epitaxy）。
據(jù)悉，ASMI 不僅在韓國(guó)，日本和美國(guó)設(shè)有研發(fā)中心，在比利時(shí)和芬蘭也分別設(shè)有研發(fā)中心。
同時(shí)，徐來(lái)表示，"我們與其他設(shè)備廠最大的差異在于：ASMI有自己的工藝集成中心（比利時(shí)）。當(dāng)我們?cè)谧鱿冗M(jìn)制程研究時(shí)會(huì)發(fā)現(xiàn)一些應(yīng)用，發(fā)現(xiàn)應(yīng)用之后便有了對(duì)相關(guān)材料的需求，然后反饋給我們?cè)诜姨m的材料研究中心，研究出相應(yīng)的材料支持工藝。最后，反饋給事業(yè)部來(lái)根據(jù)要求制造設(shè)備、提供給客戶(hù)，再根據(jù)客戶(hù)需求更新設(shè)備。"
看好未來(lái)中國(guó)市場(chǎng)的增長(zhǎng)
根據(jù) SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）于 2018 年 2 月 28 日公布的"全球晶圓廠預(yù)測(cè)報(bào)告"最新內(nèi)容中指出，2019 年全球晶圓廠設(shè)備支出將增加 5%，連續(xù)第四年呈現(xiàn)大幅成長(zhǎng)。除非原有計(jì)劃大幅變更，中國(guó)大陸將是 2018、2019 年全球晶圓廠設(shè)備支出成長(zhǎng)的主要推手。
圖2：全球晶圓廠設(shè)備支出預(yù)測(cè)
SEMI 預(yù)測(cè)，2018 和 2019 年全球晶圓廠設(shè)備支出將以三星居冠，但投資金額都不及 2017 年的高點(diǎn)。相較之下，為支持跨國(guó)與本土的晶圓廠計(jì)劃，2018 年中國(guó)大陸的晶圓廠設(shè)備支出較前一年將大幅增加 57%，2019 年更高達(dá) 60%。 中國(guó)大陸設(shè)備支出金額預(yù)計(jì)于 2019 年超越韓國(guó)，成為全球支出最高的地區(qū)。
"正是因?yàn)榭吹街袊?guó)市場(chǎng)強(qiáng)勁的增長(zhǎng)表現(xiàn)，ASMI 從去年開(kāi)始做了很多改變，加強(qiáng)了市場(chǎng)拓展和客戶(hù)服務(wù)。"徐來(lái)表示，"實(shí)際上，ASMI 進(jìn)入中國(guó)已經(jīng) 20 年，目前為止在中國(guó)的裝機(jī)容量約為 200 臺(tái)，涵蓋了中國(guó)所有的客戶(hù)。現(xiàn)在重慶、徐州、廣州、青島等地都有新的客戶(hù)增加，所以相應(yīng)的團(tuán)隊(duì)也要不停的擴(kuò)充。"
徐來(lái)認(rèn)為，"ASMI 已經(jīng)在全球得到很多認(rèn)可，是英特爾和臺(tái)積電的最佳供應(yīng)商。未來(lái)隨著中國(guó)業(yè)務(wù)的增加，相信我們?cè)谥袊?guó)也會(huì)得到更多的國(guó)內(nèi)客戶(hù)的認(rèn)可。"
